3

Catalytic decomposition of NH3 on heated Ru and W surfaces

Année:
2011
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english
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english, 2011
10

Excellent passivation effect of Cat-CVD SiNx/i-a-Si stack films on Si substrates

Année:
2011
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english
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english, 2011
30

The formation of poly-Si films on flat glass substrates by flash lamp annealing

Année:
2015
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english
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english, 2015
48

Comparison of a-Si TFTs fabricated by Cat-CVD and PECVD methods

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2009
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english
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english, 2009